650(W)×900(D)×1600(H)mm

 ◆ 合金铝真空仓体(约100升)

   450(W)×450(D)×450(H)mm

 ◆ 电极结构

   外置电感耦合电极

 ◆ 等离子发生器(美国MKS)

   频率13.56MHZ,功率0-1000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

   PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界***品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

   日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)

   台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器         

 ◆ 充气系统

   美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)

   美国世伟洛克SWAGELOK气体管路及接口组件，德国双级减压阀

   日本SMC及CKD高真空气阀组件