850(W)×1000(D)×1850(H)mm

 ◆ 仓体结构(约200升)

550(W)×700(D)×530(H)mm

 ◆ 电极面积  

550(W)×700(D)×530(H)mm，14层

 ◆ 等离子发生器(MF)

频率40KHZ,功率0-3KW连续调节,自动阻抗匹配

 ◆ 控制系统

 ◆ 真空系统

日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)

进口气动角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管，

 德国英福康Inficon高精度真空计、规管

 ◆ 处理气体

美国世伟洛克Swagelok不锈钢抛光气体管