采用***新DepoE技术制造的管式PECVD用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长。PECVD的镀膜效果直接关系到电池片的***终转换效率与电性能参数，管式PECVD是电池片减反射膜生长质量相对较好的设备。

优秀的钝化作用

工艺稳定、镀膜均匀

石墨舟无污染全自动装载

成本低、产量大

操作简洁、易于维护

设计紧凑、占地面积小

 除此之外，该设备还可以根据工艺能力、产能和自动化水平进行多种配置。