| 规格 | 125X125 mm | 156X156 mm |
| 规格 | 13片/168片 | 13片/144片 |
| 15片/196片 | 15片/168片 | |
| 19片/152片 | 19片/216片 | |
| 19加长片/288片 | 19加长片/252片 | |
| 21片/280片 | 21片/240片 | |
| 21片加长片/320片 | 21片加长片/280片 | |
| 备注 | 适用于进口，国产管式PECVD设备 | 适用于进口，国产管式PECVD设备 |
石墨舟石墨片
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