该真空蒸镀设备用于CIGS相关材料的热蒸镀。具体应用于CIGS薄膜太阳能电池中铜-铟-镓-硒层的沉积。该真空蒸镀设备由传输系统、多个加热/冷却站和沉积腔体组成。它能提供***的热沉积技术,该技术材料利用率高,膜层厚度非常均匀。该设备融合稼动率和机械良率高的特点,可谓***佳***灵活的生产平台。

主要特征

高产能

模块化腔室设计

布局可灵活多变,以满足不同客户的生产需求

独特的腔室设计,确保蒸发源利用率***大化(腔室壁上沉积***小化)

较快的沉淀速度和较高的工艺重复性

***的流体均匀性

方便快速的蒸镀源补充/更换

温度均匀性优良

基片预加热功能

实时监控流量和温度